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国内首片国产光罩保护膜 在杭绍临空示范区诞生

2024-07-29 11:00:02

日前,绍兴芯链半导体科技有限公司(以下简称“绍兴芯链”)在柯桥举行发布会,正式宣告国内首片国产光罩保护膜诞生,实现国产光罩保护膜产品“零”的突破。这对于中国半导体光罩领域来说具有深远意义,是整合半导体光罩材料产业链的重大突破。

绍兴芯链位于杭绍临空经济一体化发展示范区绍兴片区内,主要从事光罩材料产业链产品的研发、生产和销售。令人振奋的是,该项目于2023年5月29日土地摘牌,1个月开工建设,10个月完成结顶,12个月试运行,成为“柯桥速度”的又一样板。

记者了解到,此前,光罩保护膜一直都是“卡脖子”技术难题:配方方面,国内尚无厂商生产,完全依赖进口;工艺方面,旋涂、烘干等技术复杂,厚度、透光率等要求严苛。而绍兴芯链致力于整合光罩材料全产业链,是目前全国唯一能生产光罩保护膜、BIM及PSM光罩基板的厂家。

“从研发到试生产,再到产品的最终呈现,每个环节都凝聚了芯链每位同仁无尽的心血。”绍兴芯链总经理李佳珍看到团队的努力终于“结果”感慨万千。她说,未来公司将继续跟随国家半导体行业发展战略,围绕高端半导体材料提供更高质量的产品,持续加大研发投入,逐步实现先进光罩上游材料的量产,成为国内领先、国际一流的半导体材料标杆企业。